来源:苏州硕世微电子有限公司 时间:2025-03-02 04:18:24 [举报]
聚四氟乙烯:英文缩写为PTFE,中文商品名“铁氟龙”、“特氟龙”、“特富隆”、“泰氟龙”等,具有的化学稳定性,对于强酸浓碱,即使在高温下长期接触也不会发生任何化学作用,是当今世界上耐腐蚀性能材料之一;聚四氟乙烯具有的介电性能,他的介电常数及介质损耗角正切值随温度变化而变化,不吸水、电性能不受频率影响。
在半导体晶圆加工中,利用聚四氟乙烯材质耐腐蚀的特性,在聚四氟乙烯腐蚀槽中加入HF与二氧化硅反应,进行边缘剥离等。聚四氟乙烯槽通过模具一体模压烧结成型,整体无焊点,不需要担心滴漏的风险。在半导体生产中,如需要对大型的零件浸泡清理,就要用到大型的聚四氟乙烯焊接槽。
聚四氟乙烯(PTFE)以其的耐高低温性能和化学稳定性、很好的电绝缘性能、非粘附性、耐候性、阻燃性和良好的自润滑性,已在化工、石油、纺织、电子电气、医疗、机械等领域获得了广泛应用。
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